概述 01 ·1.1分类与特点 01 ·1.2主要用途及应用领域 01 ·1.3型号组成及含义 01 ·1.4工作条件 02 ·1.5装箱单 03 ·1.6配件 03 第二章技术说明 04 ·2.1仪器用分子泵 04 ·2.2100系列分子泵技术说明 05 ·2.3160系列复合分子泵技术说明 07 ·2.4200系列复合分子泵技术说明 09 ·2.5250系列分子泵技术说明 11 ·2.6400系列涡轮分子泵技术说明 13 ·2.7与分子泵匹配的控制器 14 第三章运输与保存 15 ·3.1运输 15 ·3.2保存 15 ·3.3搬动 15 第四章安装 16 ·4.1确认泵的主要用途 16 ·4.2安装环境条件 16 ·4.3安装泵 16 ·4.3.1开包装箱 16 ·4.3.2与真空腔的连接 17 ·4.3.3前级连接 18 ·4.3.4停机充气连接 18 ·4.3.5冷却连接 18 ·4.3.6耐腐蚀泵保护气体连接 19 ·4.3.7注入润滑油或润滑脂 19 ·4.3.8电缆连接 20 第五章使用 21 ·5.1使用前应注意的问题 21 ·5.2启动分子泵 21 ·5.2.1分子泵的启动压强计算 21 ·5.2.2启动冷却系统 22 ·5.2.3通保护气体 22 ·5.2.4启动 22 ·5.2.5加速 22 ·5.3烘烤 22 ·5.4运行 23 ·5.5停机 23 ·5.6停机后充气 23 第六章特殊环境下使用泵 25 ·6.1隔振 25 ·6.2强磁场屏蔽 25 ·6.3电磁干扰 25 ·6.4强放射性限制 25 第七章日常维护与维修 26 ·7.1更换润滑油 26 ·7.2F-100/150涡轮分子泵 26 ·7.1.2口径大于等于160的泵 26 ·7.2清洗泵 27 ·7.3轴承更换 27 ·7.4从真空系统上拆泵 27 第八章故障分析 28 ·8.1泵不启动 28 ·8.2长时间启动仍达不到额定转速或停转 28 ·8.3泵运行时产生大的振动和噪声 28 ·8.4真空度低 29 ·8.5其它故障 29 CE认证 30 保修说明 31 产品保修单 32 KYKY分子泵说明书 ●分子泵安全使用说明 在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。
●安全警示说明 危险： 表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项； 警告： 表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项； 小心： 表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。
●
保修说明 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。
凡属下列情况之一的，不予保修：1)用户未经授权对产品私自拆卸；2)用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3)属于用户其他原因造成的损坏。
●免责声明 当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。
泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。
由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。
如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有最终解释权。
由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有。
KYKY分子泵说明书 第一章概述 1.1分类与特点 本说明书所列分子泵，按口径不同，从40mm到400mm（抽速从25l/s到3600l/s）共8个系列，28种泵（含两种磁悬浮分子泵）。
分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。
复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。
根据分子泵轴承润滑方式不同，分子泵有油润滑、脂润滑两种。
一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/150可以水平安装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。
1.2主要用途及应用领域 分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，不使用冷阱或挡板，也可以得到一个较高的真空。
它广泛的应用于半导体、工业镀膜、分析仪器、科学研究、电真空器件的制造以及真空技术的其他领域。
1.3型号组成及含意 说明：特征代号1：“F”，表示涡轮分子泵； “FF”，表示复合分子泵；“CXF”，表示磁悬浮分子泵。
特征代号2：“F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷；“T”，表示采用陶瓷轴承的泵，区别于普通轴承；“N”，表示耐腐蚀泵；“Z”，表示脂润滑分子泵；“B”“C”等其他字母，表示产品或性能的改进 相关性能参见各系列的技术说明。
特征代号2额定抽速（L/s）高真空接口口径特征代号
1 01 KYKY分子泵说明书 1.4工作条件 分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连续工作入口压强要求小于等于1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于5Pa），且要求前级排气口压强保持在10Pa以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的KYKY分子泵控制器。
图1-1分子泵的应用（真空系统原理图）02 KYKY分子泵说明书 1.5装箱单 在打开包装箱后，请仔细核对箱内分子泵及其附件。
表1-1装箱单 序号123456789 10 名称分子泵防护网使用说明书检验合格证保修卡CF铜垫圈保护气体接口KF16盲板、卡箍分子泵润滑油O圈支架（包括O圈） 卡钳（LF专用） 单位台个份份份个套瓶套 个 数量111112111369 备注 CF接口专用耐腐蚀泵专用油润滑泵专用LF接口专用63系列、100系列、160系列、200系列中LF接口分子泵 250系列400系列 1.6配件 选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 序号1*
2 名称分子泵泵体加热器 螺栓、螺母、垫圈 表1-2选购配件表 单位 规格 套 M8×50 M8×55套 M8×65M8×65 数量 1 8162432 备注100系列160系列200系列FF70分子泵CF63高真空接口100系列中CF100高真空接口160系列中CF150高真空接口200系列中CF200高真空接口250系列中CF250高真空接口 ﹡在需要的情况下是指：要获得超高及以上真空，泵壳必须烘烤的情况等。
03 KYKY分子泵说明书 第二章技术说明 2.1仪器用分子泵 仪器用分子泵主要包括FF-40/25和FF-63/70两种分子泵，具有体积小、功耗低和性能稳定等特点，可广泛应用于分析仪器、质朴检漏和科学研究等领域。
型号抽气速率（l/s）压缩比 极限压强（Pa） 排气口法兰进气口法兰轴承额定转速（rpm）启动时间（min）振动值（μm）建议前级泵（l/s）充油量(ml)安装方式冷却方式冷却水温度（℃）泵体烘烤温度（℃）环境温度（℃）重量（kg） 表2-1仪器用分子泵技术参数表 FF-40/2525 N2：107；H2：6×102≤1×10-4(DN40KF) KF40(DN40ISO-KF) 36000＜2.5 0.5～1—— 风冷：RT5-40℃——（无水冷） ≤80
3 FF-63/7070 N2：＞2×106；H2：＞4×103≤3×10-5①(DN63LF)≤8×10-6②(DN63CF) KF16(DN16ISO-KF)LF63(DN63ISO-K)CF63(DN63ISO-CF) 陶瓷轴承51000＜2.5 ≤0.10.8～2—— 任意角度风冷：RT5-32℃水冷：RT5-40℃≤25≤100 5～403.5（LF）4.8（CF） ①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果。
KYKY分子泵说明书 2.2100系列分子泵技术说明 100系列分子泵包括FF-100/110和F-100/150两种。
型号 抽气速率（l/s） 压缩比 极限压强（Pa） DN100LFDN100CF 排气口法兰 进气口法兰 轴承 额定转速（rpm） 启动时间（min） 振动值（μm） 建议前级泵（l/s） 充油量(ml) 安装方式 冷却方式 冷却水温度（℃） 泵体烘烤温度（℃） 环境温度（℃） 重量（kg） 表2-2100系列分子泵技术参数表 FF-100/110 F-100/150 110 150 N2：108；H2：6×103 ≤6×10-
6 N2：108；H2：5×105 ≤6×10-8①；≤6×10-7② KF25(DN25ISO-KF) LF100(DN100ISO-K)、CF100 陶瓷轴承 普通轴承 42300 ＜
2 ≤0.1
2 脂润滑 2×
6 任意角度 垂直或水平 环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷； ≤25 ≤100 5～40
8 ②此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果 04 05 KYKY分子泵说明书 图2-1FF-40/25安装简图 图2-2FF-63/70安装简图 图2-3FF-100/110安装简图06 图2-4F-100/150安装简图 KYKY分子泵说明书 2.3160系列复合分子泵技术说明 160系列复合分子泵包括FF-160/500G、FF-160/620、FF-160/620C、FF-160/620F、FF-160/620N、FF-160/700、FF700F七种泵。
表2-3160系列复合分子泵技术参数表 型号 抽气速率（l/s）压缩比 极限压强（Pa） 额定转速（rpm）启动时间（min）轴承排气口法兰进气口法兰振动值（μm）建议前级泵（l/s）冷却水温度(℃)泵体烘烤温度(℃)环境温度（℃）充油量(ml)安装方式重量（kg） FF-160/500G FF-160/620 FF-160/620F FF160/620N③ FF-160/620C FF-160/700 FF-160/700F 500 600 700 700 ≤6×10-
6 N2：109；H2：6×103 ≤6×10-
7 ≤6×10-8①；≤6×10-7② ≤6×10-8① 27000 36000 ＜
5 ＜
7 ＜
5 普通轴承 陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体） KF40(DN40ISO-KF) LF160(DN160ISO-K)、CF160 ≤0.1 4-
8 ≤25 ≤100 5-40℃(FF-160/620F可在5-32℃时风冷) 150 脂润滑 竖直±5° 任意角度 29 19 23 ①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果；②此极限为水冷条件下的测试结果；③动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
07 KYKY分子泵说明书 图2-5FF-160/500G、FF-160/620、FF-160/620C安装简图 图2-6FF-160/620F安装简图 图2-7FF-160/620N安装简图 图2-8FF-160/700安装简图08 图2-9FF-160/700F安装简图 KYKY分子泵说明书 2.4200系列复合分子泵技术说明 200系列复合分子泵包括：FF-200/1200、FF-200/1200C、FF-200/1200G、FF-200/1200N、FF-200/1300、FF-200/1300N、FF-200/1300F七种泵。
表2-4200系列复合分子泵技术参数表 型号 抽气速率（l/s） 压缩比 极限压强（Pa） DN200LFDN200LF 额定转速（rpm） 启动时间（min） 轴承 排气口法兰 进气口法兰 振动值（μm） 建议前级泵（l/s） 冷却水温度(℃) 泵体烘烤温度(℃) 环境温度（℃） 充油量(ml) 安装方式 重量（kg） FF-200/1200FF-200/1200GFF-200/1200NFF-200/1200CFF-200/1300FF-200/1300FFF-200/1300N 600 1300 ≤6×10-
6 N2：109；H2：6×103≤1×10-
6 ≤6×10-
6 ≤6×10-8①；≤6×10-7② ≤1×10-
7 ≤6×10-8①；≤6×10-7② 24000 27000 24000 ＜
7 普通轴承 陶瓷轴承（耐腐蚀泵通保护气） KF40(DN40ISO-KF) LF200(DN200ISO-K)、CF200 ≤0.1 15 ≤25 ≤100 5-40 150 脂润滑 竖直±5° 任意角度 39 29 33 29 ①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果；③动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
09 KYKY分子泵说明书 图2-10FF-200/1200、FF-200/1200C、FF-200/1200G安装简图 图2-11FF-200/1200N安装简图 图2-12FF-200/1300安装简图 图2-13FF-200/1300F安装简图 图2-14FF-200/1300N安装简图 10 KYKY分子泵说明书 2.5250系列分子泵技术说明 250系列分子泵包括F-250/1500、F-250/1500N、FF-250/1600、FF-250/1600B和FF-250/2000五种。
表2-5250系列分子泵技术参数表 型号 抽气速率（l/s） 压缩比 极限压强（Pa） DN200LFDN200CF 额定转速（rpm） 启动时间（min） 轴承 排气口法兰 进气口法兰 振动值（μm） 建议前级泵（l/s） 冷却水温度(℃) 泵体烘烤温度(℃) 环境温度（℃） 充油量(ml) 安装方式 重量（kg） F-250/1500普通轴承 F-250/1500N① FF-250/1600 FF-250/1600B FF-250/2000 1500 1600N2：108；H2：5×103 ≤6×10-6≤6×10-8②；≤6×10-7③ 2000 21000 27000 24000 ＜
8 陶瓷轴承（耐腐蚀泵通保护气） KF50(DN50ISO-KF) LF250(DN250ISO-K)、CF250 ≤0.1 15 ≤25 ≤100 5-40 150 脂润滑 竖直±5° 60 47 32 ①动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油;②此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；③此极限为水冷条件下的测试结果。
11 KYKY分子泵说明书 图2-15F-250/1500安装简图 图2-16F-250/1500N安装简图 KYKY分子泵说明书 2.6400系列涡轮分子泵技术说明 400系列涡轮分子泵包括F-400/3500、F-400/3500N和F-400/3600涡轮分子泵三种。
表2-6400系列涡轮分子泵技术参数表 型号抽气速率（l/s）压缩比极限压强（Pa）排气口法兰进气口法兰轴承启动时间（min）额定转速（rpm）振动值（(μm)）建议前级泵（l/s）冷却水温度（℃）泵体烘烤温度（℃）环境温度（℃）充油量(ml)安装方式重量（kg） F-400/3500 3500 ＜1813500 150136 F-400/3500N① N2：108；H2：5×102≤6×10-
6 LF100(DN100ISO-K)LF400(DN400ISO-K) 陶瓷轴承 ≤0.530≤25≤80 5-40 竖直±5° ①动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
F-400/36003600 15.515300 250130 图2-17FF-250/1600安装简图 图2-18FF-250/1600B安装简图 图2-19FF-250/2000安装简图 12 13 KYKY分子泵说明书 图2-20F-400/3500安装简图 图2-21F-400/3500安装简图 图2-22F-400/3600安装简图 2.7与分子泵匹配的控制器 表2-7分子泵与控制器对照表 分子泵型号FF-40/25FD-63/70 FF-100/110、F-100/150FF-160/500G、FF-160/620、FF-160/620C、FF-160/620N、FF-160/620F、 FF-160/700、FF-160/700FFF-200/1200、FF-200/1200C、FF-200/1200N、FF-200/1200G、FF-200/1300、 FF-200/1300F、FF-200/1300NF-250/1500、FF-250/1500N、FF-250/1600、FF-250/1600B F-400/3500、F-400/3500NF-400/3600 配用控制器TD25+(TC100/TCP100) FD-70FD-110B、FD-110A FD-II（2U）FD-IIB(4U) TCDP-II(2U)TCDP-IIB(4U) FD-3500KFD-3600K FD-IIITCDP-III 14 KYKY分子泵说明书 第三章运输与保存 3.1运输 分子泵出厂时，包装在包装箱里。
在运输过程中，要轻搬轻放，严禁强震、倒置、侧放、雨淋、严寒和暴晒。
3.2保存 泵及控制器在开箱前应贮存在干燥、通风、没有腐蚀性气体的房屋内，防止雨淋、严寒和暴晒。
贮存环境温度：-20℃—+55℃；相对湿度不超过95%。
3.3搬动 分子泵在打开包装箱后搬动时，注意不能倒置或过大角度倾斜（不大于45°），并注意保护泵的高真空接口、前级接口、水嘴、控制器接口等易损坏部位。
警告： a)仅在将泵放置于所要安装的系统前时，打开泵的密封盖；b)泵的前级接口、水嘴、控制器接口等突出部位不能作为搬运把手；c)搬运时，注意保护泵的高真空、前级接口，避免划伤。
15 KYKY分子泵说明书 第四章安装 4.1确认泵的主要用途 分子泵只能用于将一个封闭腔室从分子流区域或接近分子流区域抽至更高真空；分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体；除了“N”型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，“N”型泵在抽除腐蚀性气体时，必须给轴承通保护气体，且泵油使用KYKY提供的专用耐腐蚀分子泵油。
警告： 每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的控制器供电，如因此类使用不当造成的损失，本公司概不负责。
4.2安装环境条件 1)泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs)；2)分子泵可抗放射性强度为105rad；3)环境温度为5-40℃；4)空气相对湿度：≤85%；5)电压：220±22V，频率：50±1Hz；6)海拔：≤3000米。
4.3安装泵 4.3.1开包装箱从包装箱中取出泵，检查在运输途中是否被损坏。
取下泵高真空接口上的塑料盖板，戴上手套，拨动涡轮转子，应当转动灵活，无迟滞、卡死等异常现象，然后将法兰盖板盖好。
16 KYKY分子泵说明书 警告： a)打开泵的包装箱后，如果发现有影响使用性能的损坏，应及时与生产厂家联系，用户不要自行处理；b)注意保护泵的高真空、前级接口，不得有影响使用性能的划痕；c)不要长时间打开泵的高真空、前级接口上的塑料法兰盖板，严禁杂物、灰尘等落入泵内，并注意保持泵的清洁；d)在尽可能清洁的环境中安装泵。
4.3.2与真空腔的连接高真空法兰采用CF系列金属密封法兰或符合ISO标准LF系列橡胶密封法兰（具体规格见技术参数表）。
分子泵的高真空连接通常是吊装于真空腔相应接口上，但对于重量较大的泵，应加设底托抵消泵的重力，防止拉裂焊缝；分子泵的高真空接口应尽可能的靠近被抽腔体，（见图4-1）。
正确 错误 图4-1分子泵与真空腔体联接示意图 泵口防护网（选装件）可防止外界物体落入泵内，但装网后，抽速降低约15%。
分子泵与真空腔的连接件，CF接口用不锈钢螺栓（非标准配置），LF法兰接口使用标准卡钳。
17 KYKY分子泵说明书 警告： a).泵内动片的高速旋转使泵具有很大的动能，误操作或其他原因都有可能使泵与真空腔连接松动或导致泵异常损坏，因此，必须使用强度合格的连接件进行安装； b).在任何情况下，分子泵都不能单独通电启动，必须将泵安装于系统上，在规定的条件满足后再启动；c).当以吊装方式安装泵时，注意被吊装部位焊缝的牢固性，防止拉裂。
d).安装F-400/3500、F-400/3500N、F-400/3600涡轮分子泵建议采用活套法兰进行安装。
若采用吊装方式，底部需加支撑。
4.3.3前级连接 前级接口为ISO标准KF快速连接法兰（具体规格见技术参数表）；分子泵与前级泵的连接建议选用可缓解震动的金属波纹管；建议选用有停机充气功能的前级泵，或在前级泵入口处安装与之同时通断的隔断放气阀，防止前级泵停转时泵油上返至真空腔。
建议在前级泵入口处安装吸附阱，以最大程度的阻止前级泵油上返。
4.3.4停机充气连接 图4-2前级接口 耐腐蚀泵停机充气使用保护气体入口（KF16），对于非耐腐蚀泵，真空设备制造厂商可根据最终用户要求，设计在被抽腔体或前级管道上，接口与阀口对应。
充气阀可选手动或电磁、电气动阀。
充气过程参照“5.5停机”。
4.3.5冷却连接a)风冷泵：确认风冷泵周围无热源，风扇周围没有阻滞空气流动的障碍物；b)水冷泵：水冷泵接口采用快插式接口，在泵体一侧。
用外径10mm的带纤维增强的塑料软管与水源连接。
水嘴不分进出水。
水源应采用清洁、低沉淀的自来水，冷却水压约0.1－0.2MPa。
水温应低于25℃，流量不应低于1升/分钟。
（注：不同口径的水冷泵水嘴位置略有不同。
） 警告： 使用高沉淀或腐蚀性水，将造成泵体内冷却水道堵塞或锈蚀。
图4-3水冷泵水嘴 18 KYKY分子泵说明书 4.3.6耐腐蚀泵保护气体连接 保护气体接口为耐腐蚀泵上专有。
接口是ISO标准KF16快卸法兰，在泵体一侧。
建议在管路上设置流量计和放气阀，便于根据被抽腐蚀性气体浓度控制保护气体流量。
保护气体一般使用工业氮气或氩气。
小心： 图4-4耐腐蚀泵保护气接口 保护气应选用不对合金铝、不锈钢产生锈蚀，不与被抽气体发生化学反应的气体，如氮气、氩气等，气体温度应在5-30℃之间，浓度≤10ppm。
特殊条件下，也可用干燥、经过滤的无油空气（过滤网格密度小于1um）。
4.3.7注入润滑油或润滑脂 脂润滑泵出厂前已在泵中储备足够的润滑脂，在轴承寿命期间无需注入。
F-100/150涡轮分子泵，在出厂前已注入润滑油，用户可直接使用。
抽速大于150l/s的油润滑泵，为了运输安全，在出厂前已卸去润滑油，因此，新泵使用前必须注油。
注油操作过程：1)松开泵底部紧固油池的固定螺钉，取下油池；2)取出泵包装箱中的润滑油，从滤网外向油池注油，注意使油量在上下两油标之间。
3)将油池紧固到泵体底部。
油标 警告： 图4-5油润滑分子泵油池 螺钉 a)分子泵润滑油是专用的不易裂变低饱和蒸气压润滑油，用户不得擅自用其他润滑油代替，否则由此带来的任何不良后果由用户承担； b)分子泵润滑油应洁净、透明，严禁污物、杂质和尘埃落入，否则，请及时更换；c)耐腐蚀泵必须使用专用的耐腐蚀泵油。
小心： 安装油池时，注意密封圈入槽，螺钉按圆周对称紧固，防止密封失效。
19 KYKY分子泵说明书 4.3.8电缆连接分子泵的控制电缆插槽位于泵体下部。
泵与控制的连接电缆是泵的标准配置。
连接时应当插槽对齐，不要过分用力，防止插针弯折。
插入后用插头上自带螺栓拧紧。
警告： 在给泵供电前，请详细阅读相应的分子泵控制器使用说明书。
图4-6控制器插槽 20 KYKY分子泵说明书 第五章使用 5.1使用前应注意的问题 危险： 当抽除可燃性混合气体，分子泵系统内压强较低（低于104Pa）时，一般没有着火危险。
但当压强较高时（高于104Pa），且泵内温度高于120℃时，泵有可能因发生损坏而产生火花，导致引燃可燃性混合气体 警告： a）分子泵不能用于抽除液体及带有粉尘、固体颗粒的气体，如果被抽气体含有少量固体尘埃，必须在泵口安装多层过滤网； b）除“N”型泵，其它任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体；“N”型泵在抽除腐蚀性气体时，必须充保护气体，使用KYKY指定的特殊耐腐蚀分子泵油； 小心： 有些物质（如三氯化铝等）在泵体内升华在叶片上生成沉淀物，涡轮叶片上厚厚的沉积层会降低动片的抽气作用，加热泵体有可能减少淀积物生成，遇此类问题用户可咨询泵的生产厂家。
5.2启动分子泵 5.2.1分子泵的启动压强计算设被抽系统为V[m3]，前级泵抽速为Sr[m3/h]，当Sr/V＞40[h-1]时，分子泵和前级泵可以同时启动，此时分子泵相当于一个阻流阀，可有效防止前级泵油上返。
当Sr/V≤40[h-1]时，被抽容积过大，应先启动前级泵，等系统压强P≤200Pa或P≤e(Sr/6V)×100[Pa]时，再启动分子泵。
5.2.2启动冷却系统水冷泵应接通冷却水（水压不足，分子泵控制器自动报警），风冷泵启动风扇； 21 KYKY分子泵说明书 5.2.3通保护气体根据被抽腐蚀气体浓度确定保护气体流量，一般12—m，但在抽强腐蚀性气体时，应适当加大流量。
5.2.4启动 小心：确认前级泵工作正常； 分子泵每次启动时，按下分子泵控制器面板上的“启动（Start）”按钮即可。
对于脂润滑型分子泵，初次使用或长期闲置（一般3个月以上）重新使用时，建议用户执行以下操作：
1.启动分子泵，待控制器显示分子泵达到额定转速时，按下“停止（）”按钮。
当分子泵完全停机后，等待10 分钟左右，重新启动分子泵。

2.执行以上启停操作2到3次，以后即可每次正常启动分子泵；详细操作请参看“分子泵控制器使用说明书”。
5.2.5加速 正常的分子泵加速时间应小于等于技术参数表中所列加速时间，如果轴承磨损或系统有漏，加速时间将延长。
用户在使用中应注意观察，发现异常及时停泵，并由有经验的技术人员查找异常原因。
5.3烘烤 一般情况下，设计合理的真空系统，要获得10-4Pa以下的真空，不必烘烤；获得10-5Pa的真空，只需烘烤除泵以外真空系统的其它部件；但对于获得超高真空，则包括分子泵在内的真空系统所有部件需要同时充分烘烤；同时电离真空规管必须充分除气，以保证测量数据的准确性。
在空气湿度较大地区，获得10-4Pa真空，真空系统和分子泵有时也需要烘烤。
烘烤应在分子泵运转情况下进行。
烘烤温度见技术参数表。
烘烤时间根据系统及泵的污染程度和预期达到的极限压强确定。
危险： 烘烤时，加热器和泵壳温度接近100℃，身体任何部分直接接触都将造成伤害。
警告： 烘烤温度应严格控制，过高会造成分子泵涡轮叶片变形而损坏。
图5-1泵体加热器接口 22 KYKY分子泵说明书 5.4运行 警告： 转子是高速运转的部件，且与泵壳的间隙很小，因此，分子泵在运行中泵体外部过大的撞击或振动以及被抽空间突然大气量的冲击、外界坚硬物体掉入泵中都将导致泵损坏。
如果用户有特殊要求，请咨询生产厂家。
5.5停机 危险： 当时用分子泵抽除腐蚀性气体时，关泵前，必须从保护气体接口充入干燥氮气或惰性气体至少一小时，流量为m。
按下分子泵控制器面板上的“停止（）”键，分子泵逐渐停止转动。
详细说明请参见控制器使用说明书。
关闭前级泵；关闭冷却水或风扇； 警告： a）用“停止（）”键停泵，而不要切断控制器开关！“停止（）”键是利用控制器的“刹车”功能使泵逐渐停转，突然断电将降低轴承寿命。
待控制器上的频率指示灯闪烁时，再切断控制器。
b）分子泵停转后，应该立即关闭冷却水，以免在泵内形成冷凝水。
小心： 按下“停止（）”键后，在泵停稳之前，对泵充气能减轻前级泵油上返，但泵腔压升太快将对轴系带来附加压力，
降低轴承寿命。
5.6停机后充气 对分子泵停机后再进行充气，应使泵内压强逐步达到大气压。
真空系统停止工作时，一般应将分子泵充气到大气状态，以免前级对分子泵及真空室造成污染。
KYKY所生产的分子泵，除特殊订制，或特殊型号，一般不带有充气接口。
23 KYKY分子泵说明书 充气方式一般有以下三种情况：a)耐腐泵带有保护气体接口，停机后可延时关闭此接口，使分子泵逐渐升压至大气状态。
若此时同时使用真空室上面的充气阀，注意应延时一段时间开启充气阀，以使得泵腔压力高于真空室压力，这样可阻止真空室内的腐蚀性气体、固体颗粒物等进入泵腔。
b)利用真空室上的充气阀。
分子泵停机后，打开充气阀（分子泵与腔室间若有阀门应在开启状态），注意应尽量放慢充气速度，以免真空室内的固体颗粒物进入泵腔。
c)在前级泵与分子泵之间设置充气阀。
充气注意应放慢充气速度，以免前级的油蒸气及固体颗粒物进入泵腔。
警告： 泵腔压力不能高于一个大气压。
小心： 泵停止运行后，如果长期处于真空状态，轴承处的油蒸汽会反扩散到泵入口侧，污染其高真空端及真空腔体。

充氮气或干燥空气可明显缩短下次抽极限时间。
通过在泵与真空腔之间设置阀门，使真空室长时间保持真空状态，而不要使分子泵长时间保持真空状态。
24 KYKY分子泵说明书 第六章特殊环境下使用泵 6.1运输 如果被抽系统振动较大，应使用隔振器，以减少振动对分子泵造成的损坏。
6.2强磁场屏蔽 泵在强磁场中运行时，旋转的转子将产生涡电流而发热，消弱铝材料的强度。
因此，要求加在分子泵上的径向和轴向磁场强度均不得大于3mT（30Gs）。
在大于3mT的环境中使用泵应使用导磁材料屏蔽。
6.3电磁干扰 分子泵及其控制器在运行中将对环境产生电磁场，但电磁强度符合国际标准。
在特殊应用场合（如医疗仪器等），用户可以向生产厂家索取技术证明。
6.4强放射性限制 大多数材料在强放射性环境下，都将改变其性能，尤其是有机材料（如泵油、密封圈）及半导体组件。
为防止泵的意外损坏，分子泵运行环境中放射性强度应小于105rad。
危险： 泵在通电状态下，泵体任何导体部门都可能带电，在对泵进行任何维护及维修工作之前，必须先切断控制器。
警告： a)拆泵必须由经过专业培训的人员进行，严禁未经授权私自拆泵。
b)分子泵经过精密的动平衡校验，拧松螺钉或增加垫片等任何操作都将导致严重的动不平衡。
如发生该问题请讲泵返回厂家，重新校验。
25 KYKY分子泵说明书 第七章日常维护与维修 7.1更换润滑油 7.2F-100/150涡轮分子泵 新泵初次运行1000小时后，即应更换润滑油；通常，经过初次换油后，正常运行的泵一年换油一次；更换润滑油方法：泵体上下轴承处，各有一个注油孔和一个出油孔，将两个注油孔(位置偏上)和两个出油孔(位置偏下)螺钉卸下，水平搁置泵，使注油孔朝上，用注射器将大约2×6m1的油分别注入两个油孔内，从另一侧流出的油不得再用。
将4个M5油孔专用螺钉拧好，用吸油纸吸净泵壳上残余的油，即完成润滑油更换。
警告： 安装油孔螺钉时，注意螺钉上的黑色O形密封圈应拧紧、压实，避免漏气。
7.1.2口径大于等于160的泵新泵初次运行1000小时后，即应更换润滑油；常规运行中，分子泵一年内运行时间少于4000小时的，一年更换一次；一年内运行时间多于4000小时的，每运行4000小时必须换油一次。
如果泵经常烘烤或大负载工作或耐腐泵，观察到润滑油混浊或明显变色，则需立即更换润滑油；更换润滑油的方法：1)松开泵底部紧固油池的固定螺钉，取下油池，倒出油池内的废油；2)使用中性洗涤剂刷洗油池，注意要将杂质和污物清理干净，然后擦干（充分擦干，不能留有水珠）；3)重新注油方法与新泵注油方法相同，见4.3.7。
警告： 更换下来废弃的润滑油按当地法律法规处理。
脂润滑型分子泵终生不需要更换润滑脂，如果轴承出现问题只能返厂维修！ 26 KYKY分子泵说明书 7.2清洗泵 如果排除真空系统漏气或真空腔体污染严重等原因，在对泵长时间烘烤后仍不能恢复其真空性能，则断定泵已被污染，必须对泵进行清洗。
分子泵只能由KYKY公司或KYKY指定的维修中心专业人员拆泵和清洗。
7.3轴承更换 合格的分子泵出厂前都经过专门仪器的整机动平衡校验，更换轴承后需要重新校动平衡，因此只能由KYKY公司或KYKY指定的维修中心来完成。
严禁用户未经授权私自拆泵。
警告： 更换下来的报废器件以及废弃清洗液按当地法律法规处理。
7.4从真空系统上拆泵 当泵出现故障而必须从系统上将泵拆下来时，应：确定泵处在停机状态，内外气压平衡；如果泵抽除的是腐蚀性气体，确认真空腔、泵体内、前级管道内腐蚀性气体已被充分冲洗干净，泵内沉积物同样对人体有害，必要时，拆卸人员应戴防毒面具、戴手套。
泵卸下后，应尽快除去沉积物，以防止沉积物与潮湿空气反应生成挥发物或对泵有腐蚀的酸、碱等。
泵卸下后，应立即用封闭的塑料袋包装起来。
27 KYKY分子泵说明书 第八章故障分析 危险： 抽过腐蚀性气体的泵，返回厂家维修前，请说明被抽气体种类，并填写《真空设备和元件污染申报表》（附于说明书后），以保证维修人员安全。
否则，KYKY有权拒绝提供维修服务。
8.1泵不启动 a)控制器故障，见控制器说明书；b)联接电缆不通，用电表查联接电缆；c)其它原因，请咨询厂家。
8.2长时间启动仍达不到额定转速或停转 a)真空系统泄漏，应检漏、堵漏；b)前级压强高于10Pa，检查前级泵是否正常工作或前级管道、前级密封是否漏气；c)润滑油污染或不足，停泵更换润滑油；d)轴承损坏，整机返回生产厂家。
8.3泵运行时产生大的振动和噪声 a)润滑油污染或不足，停泵更换润滑油；b)泵工作在共振频率范围，改变装配位置或联接尺寸，固定活动件或加减振胶垫；c)动平衡破坏，整机返回生产厂家；d)轴承损坏，整机返回生产厂家。
KYKY分子泵说明书 8.4真空度低 a)前级压强高于10Pa，检查前级泵是否正常工作或前级管道、前级密封是否漏气；b)高真空漏，应检漏、堵漏；c)规管出气量大，对规管阴极除气或规管玻壳烘烤200℃，2小时。
d)泵转速不够，输出频率误差高于额定频率的±10Hz(F-400/3500T为±12Hz)，应检修控制器；e)前级抽速不够，配置的前级泵有效抽速太小或者前级管道太细长；f)泵污染，应对泵进行清洗。
8.5其它故障 如遇其他问题或需要提供技术支持，请致电生产厂家。
28 29 KYKY分子泵说明书 CE认证 KYKY分子泵说明书 保修说明 ●凡购买我公司生产的分子泵，自购机日起凭保修单可保修一年。
●外地用户可延长一个月，在保修期内不收修理费，如需要更换零件，一般核收半费，不超过半年可免费。
●凡属下列之一的不予保修：
1、用户对产品私自拆卸；
2、用户保管或使用不当（如撞击）；
3、属于用户其他原因造成的损失。
30 31 KYKY分子泵说明书 产品名称：KYKY产品编号：用户单位： 日期 产品保修单 分子泵 维修内容 维修人 剪开 盖章处 以下请用户详细填写并寄回我公司以备查询 产品名称：____________________________________ 联系人：_________________ 产品型号：_________________ 联系电话：_________________ 产品编号：_________________ 邮政编码：_________________ 购机日期：______________________________________________ 单位地址：______________________________________________ 单位名称：______________________________________________ 32